挑選真空體系首先應考慮熔室初抽的時間及各閘閥隔離室抽暇所需的時間，例如一般主熔煉室要求15min抽暇至13.3N/m(即1×10Torr);然后考慮精煉期氣體排出量和對精煉期真空度的要求，這與選用的原材料種類、成分和對熔煉后合金成分的要求有很大聯系;還要考慮外來氣體源，這對大型爐子更為重要，例如由各真空密封處密封不嚴引起的漏氣，坩堝、絕緣物、導流槽等耐火材料放氣，還有爐壁堆積的揮發物吸氣后的放氣等。一般允許熔煉前熔煉室漏氣加放氣到達每kg坩堝容量6.65×10-2～1.33×10-1N.L/(m·s)。對爐體漏氣要求愈小愈好，因為同一真空度下漏氣大的爐子熔煉冶金效果差。通過在熔煉室安放便于鏟除揮發物的冷凝捕集器以及采用溫水冷卻爐壁可顯著削減熔煉時爐體受熱發生的大量放氣。真空感應爐

爐體結構往往依據用戶需要規劃，因而是多種多樣。一般包括熔煉室和裝料及輔佐設備兩大部分。(1)熔煉室。對小型真空感應爐(<500kg/爐)一般挑選側傾坩堝澆注的結構，在熔煉室內澆注，長處是結構緊湊。對工業規劃用真空感應爐(>1t/爐)也為側傾澆注;但鑄錠室與熔煉室經真空閘閥隔開;坩堝與錠模之間通過一個水平導流槽相連接;這種結構的長處是可以實現半接連冶煉、縮短冶煉周期，大大提高設備利用率。但設備投資會有一定增加。(2)裝料與輔佐設備。有塊料、合金料與液態金屬等加料設備設備，常用為前兩種。小爐的塊料打開爐蓋直接用手裝料;大型爐子為了使熔煉室接連堅持真空，專用閘閥在坩堝上方建有加料室，用底開式吊籃通過加料機構將塊料直接送入坩堝。(3)合金加料器。坐落熔煉室之上，總容量約為熔煉料的2～10，為多格別離貯料，通過真空閘閥與振蕩送料器將各種合金料于合適的熔煉期間別離加入坩堝內的液態金屬中。(4)合金液取樣器。為了操控冶煉進程，在不同熔煉期間取樣剖析合金成分與雜質含量。取樣器可通過一小真空閥直接自熔池內取樣，或者通過加料設備閘閥自熔池中取樣。(5)測溫設備。溫度是冶煉工藝的重要參數，運用輻射光學高溫計測溫，及時鏟除玻窗上的揮發物并對其進行校對;因而，標準的辦法是用浸入式熱電偶測溫，它可通過專門真空閥門送入，或通過加料室閘閥送入。

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