真空過(guò)濾器是將從大氣吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來(lái)，防止系統(tǒng)污染，用在吸盤(pán)和真空發(fā)生器（或真空閥）之間。在真空發(fā)生器的排氣口、真空閥的吸氣口（或排氣口）和真空泵的排氣口應(yīng)安裝消聲器。

結(jié)冰現(xiàn)象產(chǎn)生的原因：

在物態(tài)的兩相區(qū)內(nèi)，如維持壓力不變蒸發(fā)或冷凝，其溫度亦不變。因此，利用水蒸氣在濕蒸氣區(qū)內(nèi)實(shí)現(xiàn)制冷循環(huán)，則理論上就可按卡諾逆循環(huán)進(jìn)行。

在抽真空初期，由于真空系統(tǒng)中剩余壓力較高，從還原罐中出來(lái)的高溫水蒸氣很容易在較低溫度下的管壁凝結(jié)，而釋放出來(lái)的潛熱會(huì)通過(guò)管壁傳輸?shù)江h(huán)境大氣中。而在抽真空中、后期，由于真空系統(tǒng)中剩余壓力較低，水蒸氣為過(guò)熱蒸汽，很顯然此時(shí)水蒸氣不會(huì)在真空管路中凝結(jié)或管壁上凝結(jié)的水再次蒸發(fā)。當(dāng)水蒸氣通過(guò)真空過(guò)濾器的過(guò)濾介質(zhì)時(shí)，由于局部蒸氣壓力突然增高及過(guò)濾介質(zhì)的吸附作用。水蒸氣很容易凝結(jié)成水珠而附著在過(guò)濾介質(zhì)上，特別是當(dāng)過(guò)濾層堵塞或截面積過(guò)小時(shí)水蒸氣凝結(jié)成水的現(xiàn)象尤為嚴(yán)重。由于真空泵的作用，凝結(jié)水會(huì)再次蒸發(fā)同時(shí)帶走大量的熱量。從還原罐蒸發(fā)出來(lái)的水蒸氣很類似于經(jīng)制冷系統(tǒng)壓縮機(jī)出來(lái)的蒸氣；還原罐至過(guò)濾器之間的管路很類似于制冷系統(tǒng)冷凝器;而過(guò)濾器中的過(guò)濾介質(zhì)很類似于制冷系統(tǒng)節(jié)流閥和蒸發(fā)器。通常真空系統(tǒng)剩余壓力為5-10Pa，在此真空條件下，就是冰塊也會(huì)氣化而帶走熱量。只要過(guò)濾層中含有足夠的凝結(jié)水，就很有可能發(fā)生結(jié)冰現(xiàn)象。如果過(guò)濾介質(zhì)為導(dǎo)熱材料，則會(huì)加快結(jié)冰過(guò)程。

綜上所述，產(chǎn)生結(jié)冰現(xiàn)象的主要原因是被抽氣體中含有大量水分、過(guò)濾器堵塞或截面積過(guò)小以及高真空。但高真空是生產(chǎn)所必需的，故只能從氣體中含水量以及過(guò)濾器方面去考慮解決方案。

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